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不依赖EUV光刻机!我国科学家突破芯片研制极限 改变游戏规则

不依赖EUV光刻机!我国科学家突破芯片研制极限 改变游戏规则!当ASML首席执行官温宁克还在宣称中国不可能独立造出顶级光刻机时,中国科学家用颠覆性创新给出了最有力的回应。复旦大学周鹏教授带领的科研团队成功突破二维半导体电子学集成度的技术瓶颈,成功制备出了全球首款基于二维半导体材料打造的32位RISC-V处理器。这一成果从材料、架构再到流片的全链条均为自主研发,且全程无需EUV光刻机支持。这项被《自然》杂志誉为“改变游戏规则”的技术突破,正在引发全球半导体产业的巨大震动。

不依赖EUV光刻机!我国科学家突破芯片研制极限

在晶圆厂洁净车间里,重达180吨的EUV光刻机被称为“现代工业皇冠”,其内部温度波动需控制在0.01度以内,13.5nm极紫外光的产生需要将锡滴加热至等离子态。这些令人惊叹的技术参数支撑起ASML高达92.7%的全球高端光刻机市场份额。每台EUV设备包含超过10万个精密零件,来自全球5000多家供应商。美国通过《瓦森纳协定》构建的EUV技术封锁网,比物理设备本身更难突破。数据显示,中国在2018-2023年间累计申请进口EUV光刻机47次,全部遭到荷兰政府否决。

不依赖EUV光刻机!我国科学家突破芯片研制极限 改变游戏规则

当传统技术路线被全面封锁,中国科学家选择在基础物理领域开辟新战场。复旦大学周鹏教授科研团队发现,在纳米级别、面对摩尔定律极限,硅基材料并不是最佳的“沟通”材料,二维半导体才是破冰的关键所在。尽管工艺精度和规模均匀性技术瓶颈一直存在,但周鹏教授带领科研团队耗时数年,仍破解了二维材料芯片的一系列调控难题。这款处理器被命名为“无极”,意为“从无到有、没有极限”。测试数据显示,“无极”的集成化工艺和规模化电路程度均达到了国际同期的最高水准。在美西方严密封锁高端光刻机的情况下,“无极”的横空出世,为国产芯片的崛起提供了新的思路和方向。

不依赖EUV光刻机!我国科学家突破芯片研制极限 改变游戏规则

这项突破带来的冲击波正席卷全球资本市场。消息公布当日,ASML股价暴跌14.7%,创2008年以来最大单日跌幅。三星电子紧急调整技术路线图,计划在上海设立联合研发中心。美国商务部连夜召开会议,讨论放宽对华半导体设备出口限制。台积电前技术总监林本坚评价说:“这相当于在珠峰南坡被封锁的情况下,中国人找到了绕行北坡的新路径。”当制程竞赛不再局限于光刻精度,整个产业规则都将被改写。据统计,采用新技术的3nm芯片功耗降低40%,成本较传统EUV方案下降65%。

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